真空度测试仪真空度测试方法

真空度测试常见的有破坏性测试方法和无损检测方法。

破坏性测试方法常见的是采用针头刺入容器顶空，通过压力（真空度）传感器探测获取真空度，该测试方法在一定程度上会受到管路中空气的影响，可以用于真空度的粗略抽查，在小顶空容器中表现尤为明显。典型的应用是用于粗略的进行密闭容器完整性测试（CCIT）评估，方法是将高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留样半年到1年，然后观察瓶内真空度。如果里面还有一定真空度，即里面的压力是微负压，说明瓶子是不漏的；相反，如果里面的压力是常压，说明瓶子是漏的。

如果是用于工艺的优化和标准的制定，通常会采用无损的真空度测试方法。无损的真空度测试方法常见的是激光法（即调频光谱法（FMS）），它的基本原理是空气中的O2、水汽、CO2会在一定波段下有激光吸收，并且会得到吸收的图谱,吸收的激光量(在图中是峰高或振幅)和物质的含量成正比，其中水汽的激光吸收图谱中的峰宽（波峰和波谷之间的横向距离）和顶空总压力成正比。因此，采用激光法能够对容器进行无损真空度测试。激光法对真空度的小检出限大约为7mbar，因此能测试出接近真实的真空度。